1. Odstranjevanje delcev prahu v čisti sobi brez prahu
Glavna funkcija čistega prostora je nadzor nad čistočo, temperaturo in vlažnostjo atmosfere, ki so ji izpostavljeni izdelki (na primer silikonski čipi itd.), Tako da se izdelke lahko proizvajajo in izdelujejo v dobrem okoljskem prostoru. Ta prostor imenujemo kot čisto sobo. Glede na mednarodno prakso je raven čistoče določena predvsem s številom delcev na kubični meter zraka s premerom, večjim od klasifikacijskega standarda. Z drugimi besedami, tako imenovani brez prahu ni 100% brez prahu, ampak nadzorovan v zelo majhni enoti. Seveda so delci, ki ustrezajo standardu prahu v tem standardu, že zelo majhni v primerjavi s skupnim prahom, ki ga vidimo, toda za optične strukture bo imel celo malo prahu zelo velik negativni udar, zato je brez prahu neizogibna zahteva Pri proizvodnji izdelkov optične strukture.
Nadzor števila delcev prahu z velikostjo delcev, večje ali enake 0,5 mikrone na kubični meter, do manj kot 3520/kubični meter, bo doseglo razred A mednarodnega standarda brez prahu. Standard brez prahu, ki se uporablja pri proizvodnji in predelavi na ravni čipov, ima večje potrebe za prah kot razred A, tako visok standard pa se uporablja predvsem pri proizvodnji nekaterih čipov na višji ravni. Število delcev prahu je strogo nadzorovano pri 35.200 na kubični meter, ki je v čisti sobi splošno znan kot razred B.
2. Tri vrste držav čiste sobe
Prazna čista soba: čist objekt, ki je bil zgrajen in ga je mogoče uporabiti. Ima vse ustrezne storitve in funkcije. Vendar v objektu ne upravljajo opreme.
Statična čista soba: čist prostor s popolnimi funkcijami, ustreznimi nastavitvami in namestitvijo, ki jih je mogoče uporabiti v skladu z nastavitvami ali je v uporabi, vendar v objektu ni operaterjev.
Dinamična čista soba: čista soba v običajni uporabi, s popolnimi servisnimi funkcijami, opremo in osebjem; Po potrebi se lahko opravi normalno delo.
3. Kontrolne elemente
(1). Lahko odstranijo delce prahu, ki plavajo v zraku.
(2). Lahko prepreči nastajanje prašnih delcev.
(3). Nadzor temperature in vlažnosti.
(4). Regulacija tlaka.
(5). Odprava škodljivih plinov.
(6). Zračna tesnost konstrukcij in predelkov.
(7). Preprečevanje statične električne energije.
(8). Preprečevanje elektromagnetnih motenj.
(9). Upoštevanje varnostnih dejavnikov.
(10). Upoštevanje varčevanja z energijo.
4. Klasifikacija
Turbulentni tip pretoka
Zrak vstopi v čisto sobo iz klimatske naprave skozi zračni kanal in zračni filter (HEPA) v čisti sobi in se vrne s stenskih plošč ali dvignjenih tal na obeh straneh čiste sobe. Zračni tok se ne premika na linearni način, ampak predstavlja nepravilno turbulentno ali vrtoglavo stanje. Ta vrsta je primerna za čisti prostor razreda 1.000-100.000.
Opredelitev: Čista soba, v kateri pretok zraka teče z neenakomerno hitrostjo in ni vzporedno, ki ga spremlja povratni tok ali vrtinčni tok.
Načelo: Turbulentne čiste sobe se zanašajo na zračni tok zraka, da nenehno redčijo notranji zrak in postopoma razredčijo onesnažen zrak, da dosežemo čistočo (turbulentne čiste prostore so na splošno zasnovane na ravni čistoče nad 1.000 do 300.000).
Značilnosti: Turbulentne čiste sobe se za doseganje čistoče in čistoče zanašajo na več prezračevanja. Število sprememb prezračevanja določa raven čiščenja v definiciji (več sprememb prezračevanja, višja je raven čistoče)
(1) Čas samo-namestitve: Nanaša se na čas, ko čista soba začne dovajati zrak v čisto sobo glede na oblikovano prezračevalno številko in koncentracija prahu v sobi doseže oblikovani razred, ki ni v obliki čistoče, 1.000 naj bi bil več ne bo več več kot 20 minut (15 minut lahko uporabite za izračun) Razred 10.000 naj bi bilo največ 30 minut (za izračun lahko uporabite 25 minut) Razred 100.000 naj bi bilo več kot 40 minut (30 minut je mogoče uporabiti za ocena)
(2) Prezračevalna frekvenca (zasnovana v skladu z zgornjimi zahtevami za samo očiščevanje) Razred 1.000: 43,5-55,3 krat/uro (standard: 50 krat/uro) razred 10.000: 23,8-28,6 krat (standard: 25-krat/uro ) Razred 100.000: 14.4-19,2 krat/uro (standard: 15-krat/uro)
Prednosti: preprosta struktura, nizki stroški gradnje sistema, enostavna čista soba, na nekaterih posebnih namenskih mestih lahko čista klop brez prahu uporabimo za izboljšanje čiste sobe.
Slabosti: Prašni delci, ki jih povzroča turbulenca, plavajo v prostoru v zaprtem prostoru in jih je težko odvajati, kar zlahka onesnaži procesne izdelke. Poleg tega, če se sistem ustavi in nato aktivira, je za dosego potrebne čistoče pogosto trajalo veliko časa.
Laminarni tok
Laminarni pretočni zrak se premika v enakomerni ravni črti. Air vstopi v sobo skozi filter s 100 -odstotno hitrostjo pokritosti in se vrne skozi dvignjena tla ali predelne deske na obeh straneh. Ta vrsta je primerna za uporabo v čistih sobnih okoljih z višjimi ocenami čistih sob, običajno razreda 1 ~ 100. Obstajata dve vrsti:
(1) Vodoravni laminarni tok: vodoravni zrak se iz filtra izpiše v eni smeri in ga vrne sistem povratnega zraka na nasprotni steni. Prah se odvaja na prostem z zračno smerjo. Na splošno je onesnaževanje resnejše na nižji strani.
Prednosti: preprosta struktura lahko postane stabilna v kratkem času po operaciji.
Slabosti: Stroški gradnje so višji od turbulentnega pretoka, prostora v zaprtih prostorih pa ni enostavno razširiti.
(2) Vertikalni laminarni pretok: strop v sobi je popolnoma prekrit z ULPA filtri, zrak pa se piha od zgoraj navzdol, kar lahko doseže večjo čistočo. Prah, ustvarjen med postopkom ali osebje, se lahko hitro odpusti na prostem, ne da bi vplival na druge delovne površine.
Prednosti: Enostavno upravljanje, stabilno stanje je mogoče doseči v kratkem času po začetku operacije in jih operativna država ali upravljavci ne bodo zlahka vplivali.
Slabosti: visoki stroški gradbeništva, težko prožno uporabljati prostor, stropni obešalniki zasedajo veliko prostora in težavno za popravilo in zamenjavo filtrov.
Sestavljen tip
Kompozitni tip je združevanje ali uporabo turbulentnega tipa pretoka in tipa laminarnega pretoka skupaj, kar lahko zagotavlja lokalni ultra-čisti zrak.
(1) Čist tunel: uporabite filtre HEPA ali ULPA, da pokrijete 100% procesnega prostora ali delovnega območja, da povečate raven čistoče do nad razredom 10, kar lahko prihrani stroške namestitve in delovanja.
Ta vrsta zahteva, da se delovno območje operaterja izolira od vzdrževanja izdelka in stroja, da ne vpliva na delo in kakovost med vzdrževanjem stroja.
Čisti predori imajo še dve prednosti: A. Enostaven za prožno razširitev; B. Vzdrževanje opreme je mogoče enostavno izvesti na območju vzdrževanja.
(2) Čista cev: obkrožite in očistite samodejno proizvodno linijo, skozi katero pretok izdelka prehaja, in povečanje ravni čistoče do nad razredom 100. Ker so izdelka, operater in prah izolirani drug od drugega, majhna količina tega Dobava zraka lahko doseže dobro čistočo, ki lahko prihrani energijo in je najprimernejša za avtomatizirane proizvodne linije, ki ne potrebujejo ročnega dela. Uporablja se za farmacevtsko, prehransko in polprevodniško industrijo.
(3) Čisto mesto: raven čistoče območja procesa izdelka v turbulentni čisti sobi s čistim nivojem 10.000 do 100.000 se poveča na 10 ~ 1000 ali več za proizvodnjo; Čiste delovne mize, čiste lope, montažne čiste sobe in čiste garderobe spadajo v to kategorijo.
Čista klop: 1 ~ 100 razreda.
Čista kabina: Majhen prostor, obkrožen z antistatično prozorno plastično krpo v turbulentnem čistem prostoru, z neodvisnimi enotami HEPA ali ULPA in klimatske naprave 2,5 metra in območje pokritosti približno 10m2 ali manj. Ima štiri stebre in je opremljen s premičnimi kolesi za prilagodljivo uporabo.
5. Tok pretoka zraka
Pomen zračnega toka
Na čistost čiste sobe pogosto vpliva pretok zraka. Z drugimi besedami, gibanje in difuzija prahu, ki ga ustvarjajo ljudje, strojni predelki, gradbene konstrukcije itd., Nadzira zračni tok.
Čista soba uporablja HEPA in ULPA za filtriranje zraka, njegova hitrost zbiranja prahu pa znaša 99,97 ~ 99.99995%, zato lahko rečemo, da je zrak, ki ga filtrira ta filter, zelo čist. Vendar poleg ljudi obstajajo tudi viri prahu, kot so stroji v čisti sobi. Ko se ti ustvarjeni prah širijo, je nemogoče vzdrževati čisti prostor, zato je treba pretok zraka uporabiti za hitro izpraznitev nastalega prahu na prostem.
Vplivni dejavniki
Obstaja veliko dejavnikov, ki vplivajo na pretok čistega prostora, kot so procesna oprema, osebje, materiali za čiste montaže, osvetlitvene napeljave itd. upoštevanje.
Točka preusmeritve pretoka zraka na površini splošne operacijske mize ali proizvodne opreme je treba določiti na 2/3 razdalje med prostorom čiste sobe in predelno ploščo. Na ta način, ko operater deluje, lahko zračni tok teče od notranje strani procesnega območja do obratovalnega območja in odvzame prah; Če je preusmerjena točka konfigurirana pred procesnim območjem, bo postala nepravilna preusmeritev pretoka zraka. V tem času se bo večina zračnega toka pretakala na zadnji del procesnega območja, prah, ki ga povzroča operater, pa bo prepeljan na zadnji del opreme, delovna miza pa bo onesnažena, pridelek pa se bo neizogibno zmanjšal.
Ovire, kot so delovne mize v čistih prostorih, bodo imele vrtine tokove na križišču, čistoča v bližini pa bo razmeroma slaba. Vrtanje luknje za povratni zrak na delovni mizi bo zmanjšalo pojav vrtinčnega toka; Ali je izbira montažnih materialov primerna in ali je postavitev opreme popolna, so tudi pomembni dejavniki za to, ali pretok zraka postane vrtinčni tokovni pojav.
6. sestava čiste sobe
Sestava čistega prostora je sestavljena iz naslednjih sistemov (od katerih nobeden ni nepogrešljiv v sistemskih molekulah), sicer ne bo mogoče oblikovati popolne in kakovostne čiste sobe:
(1) Stropni sistem: vključno s stropno palico, i-žarkom ali U-žarom, stropnim omrežjem ali stropnim okvirjem.
(2) Sistem klimatske naprave: vključno z zračno kabino, filtrirnim sistemom, vetrnico itd.
(3) delna stena: vključno z okni in vrati.
(4) Tla: vključno z povišanimi tlemi ali protistatičnim dnom.
(5) Svetlobne napeljave: LED čistilna ploščata svetilka.
Glavna struktura čiste sobe je na splošno narejena iz jeklenih palic ali kostnih cementa, vendar ne glede na to, kakšno strukturo je, mora izpolnjevati naslednje pogoje:
A. Zaradi temperaturnih sprememb in vibracij ne bo prišlo do razpok;
B. Ni lahko proizvajati prašnih delcev in delcev je težko pritrditi;
C. Nizka higroskopnost;
D. Da bi ohranili pogoje vlažnosti v čisti sobi, mora biti toplotna izolacija velika;
7. Klasifikacija z uporabo
Industrijska čista soba
Nadzor neživih delcev je predmet. V glavnem nadzoruje onesnaževanje delcev zračnega prahu na delovni objekt, notranjost pa na splošno ohranja stanje pozitivnega tlaka. Primerno je za natančno industrijo strojev, elektronsko industrijo (polprevodniki, integrirana vezja itd.), Vesoljsko industrijo, visokogorsko kemijsko industrijo, industrijo atomske energije, industrijo optičnih in magnetnih izdelkov (CD, film, proizvodnja trakov) LCD (tekoči kristal) steklo), računalniški trdi disk, proizvodnja glave računalnika in druge panoge.
Biološka čista soba
V glavnem nadzoruje onesnaževanje živih delcev (bakterij) in neživih delcev (prahu) do delovnega predmeta. Lahko ga razdelimo;
A. Splošna biološka čista soba: v glavnem nadzoruje onesnaževanje mikrobnih (bakterijskih) predmetov. Hkrati morajo biti njegovi notranji materiali sposobni prenesti erozijo različnih sterilizacijskih sredstev, notranjost pa na splošno zagotavlja pozitiven pritisk. V bistvu morajo biti notranji materiali sposobni prenesti različne sterilizacijske obdelave industrijske čiste sobe. Primeri: farmacevtska industrija, bolnišnice (operacijske dvorane, sterilni oddelki), hrana, kozmetika, proizvodnja izdelkov za pijače, laboratoriji za živali, fizikalni in kemični testirani laboratoriji, krvne postaje itd.
B. Čista soba za biološko varnost: v glavnem nadzoruje onesnaževanje živih delcev delovnega predmeta zunanjemu svetu in ljudem. Notranji tlak je treba ohraniti negativen z atmosfero. Primeri: bakteriologija, biologija, čisti laboratoriji, fizični inženiring (rekombinantni geni, priprava cepiva)
Čas objave: februar-07-2025