IS0 14644-5 zahteva, da namestitev fiksne opreme v čistih prostorih temelji na zasnovi in funkciji čistih prostorov. Spodaj bodo predstavljene naslednje podrobnosti.
1. Metoda namestitve opreme: idealna metoda je, da med obdobjem namestitve opreme zaprete čisto sobo in imate vrata, ki ustrezajo kotu gledanja opreme, ali rezervirate kanal na plošči, da omogočite novi opremi, da gre skozi in vstopi čista Da bi preprečili kontaminacijo čistega prostora v bližini obdobja namestitve, je treba sprejeti zaščitne ukrepe, da zagotovite, da čisti prostor še vedno izpolnjuje zahteve glede čistoče in zahtevanega nadaljnjega dela.
2. Če dela v čisti sobi ni mogoče ustaviti med vsakim obdobjem namestitve ali če obstajajo strukture, ki jih je treba razstaviti, je treba tekočo čisto sobo učinkovito izolirati od delovnega območja: uporabiti je mogoče začasne izolacijske stene ali predelne stene. Da ne bi ovirali namestitvenih del, mora biti okoli opreme dovolj prostora. Če razmere dopuščajo, je lahko dostop do izolacijskega območja prek servisnih kanalov ali drugih nekritičnih območij: če to ni mogoče, je treba sprejeti ukrepe za zmanjšanje vpliva onesnaženja, ki ga povzročajo inštalacijska dela. Izolacijsko območje mora vzdrževati enak tlak ali podtlak. V območju visokih stolpnic je treba prekiniti dovod čistega zraka, da se izognete pozitivnemu pritisku na okoliške čiste prostore. Če je dostop do območja izolacije mogoč le skozi sosednjo čisto sobo, je treba za odstranjevanje umazanije s čevljev uporabiti lepljive blazinice.
3. Po vstopu v območje visoke nadmorske višine lahko uporabite škornje ali galjaše za enkratno uporabo in enodelna delovna oblačila, da preprečite kontaminacijo čistih oblačil. Te predmete za enkratno uporabo je treba odstraniti, preden zapustite območje karantene. Treba je razviti metode za spremljanje območja okoli izolacijskega območja med postopkom namestitve opreme in določiti pogostost spremljanja, da se zagotovi zaznavanje morebitne kontaminacije, ki lahko uhaja v sosednji čisti prostor. Po vzpostavitvi izolacijskih ukrepov je mogoče vzpostaviti različne potrebne objekte javne službe, kot so napeljave za elektriko, vodo, plin, vakuum, stisnjen zrak in odpadne vode. Pozornost je treba posvetiti nadzoru in izolaciji dima in ostankov, ki nastanejo med delovanjem, kolikor je to mogoče, da se izognete nenamernemu širjenju v okoliško čisto sobo. Prav tako mora olajšati učinkovito čiščenje pred odstranitvijo izolacijske pregrade. Ko objekti javne službe izpolnjujejo pogoje uporabe, je treba celotno izolacijsko območje očistiti in dekontaminirati v skladu s predpisanimi postopki čiščenja. Vse površine, vključno z vsemi stenami, opremo (fiksno in premično) in tlemi, je treba posesati, obrisati in obrisati, pri čemer je treba posebno pozornost nameniti čiščenju območij za ščitniki opreme in pod opremo.
4. Predhodni preizkus zmogljivosti opreme se lahko izvede na podlagi dejanskih pogojev čistega prostora in nameščene opreme, vendar je treba naknadno sprejemno testiranje opraviti, ko so v celoti izpolnjeni pogoji čistega okolja. Odvisno od pogojev na mestu namestitve lahko začnete skrbno razstavljati izolacijsko steno; če je bil dovod čistega zraka izklopljen, ga ponovno zaženite; čas za to fazo dela je treba skrbno izbrati, da čim bolj zmanjša motnje pri normalnem delu čiste sobe. V tem času bo morda treba izmeriti, ali koncentracija delcev v zraku izpolnjuje določene zahteve.
5. Čiščenje in pripravo notranjosti opreme in ključnih procesnih komor je treba izvajati v običajnih pogojih čistega prostora. Vse notranje komore in vse površine, ki pridejo v stik z izdelkom ali so vključene v transport izdelka, je treba obrisati do zahtevane stopnje čistoče. Zaporedje čiščenja opreme mora biti od zgoraj navzdol. Če se delci razpršijo, bodo večji delci zaradi gravitacije padli na dno opreme ali na tla. Očistite zunanjo površino opreme od zgoraj navzdol. Po potrebi je treba detekcijo površinskih delcev izvajati na območjih, kjer so zahteve glede izdelka ali proizvodnega procesa kritične.
6. Glede na značilnosti čistih prostorov, zlasti veliko površino, visoko naložbo, visoko zmogljivost in zelo stroge zahteve glede čistoče visokotehnoloških čistih prostorov, je namestitev proizvodne procesne opreme v tej vrsti čiste tovarne bolj podobna tisti običajnih čistih prostorov. V ta namen je nacionalni standard "Kodeks za gradnjo čistih tovarn in sprejemanje kakovosti", izdan leta 2015, vseboval nekatere določbe za namestitev proizvodne procesne opreme v čistih tovarnah, predvsem naslednje.
①. Da bi preprečili kontaminacijo ali celo poškodbo čiste sobe, ki je bila med postopkom namestitve proizvodne procesne opreme podvržena "praznemu" prevzemu, postopek namestitve opreme ne sme imeti prekomernih vibracij ali nagiba ter se ne sme razdeliti in onesnažiti opreme površine.
②. Da bi bila namestitev proizvodne procesne opreme v čisti sobi urejena in brez ali z manj sedenja ter da bi sledili sistemu vodenja čiste proizvodnje v čisti delavnici, zagotovite, da je postopek namestitve proizvodne opreme zaščiten v skladu z različnimi " končni izdelki" in "polizdelki", sprejeti v "praznem stanju", materiali, stroji itd., ki jih je treba uporabiti v procesu namestitve, ne smejo oddajati ali lahko proizvajajo (vključno z normalnim delovanjem čiste sobe za dolgo časa). čas) onesnaževala, ki so škodljiva za proizvedene izdelke. Uporabljati je treba čiste materiale, ki so brez prahu, rje, brez maščobe in med uporabo ne proizvajajo prahu.
③. Površino gradbene dekoracije čiste sobe je treba zaščititi s čistimi ploščami, filmi in drugimi materiali brez prahu; podložna plošča opreme mora biti izdelana v skladu z zahtevami projektiranja ali tehnične dokumentacije opreme. Če ni zahtev, je treba uporabiti plošče iz nerjavečega jekla ali plastične plošče. Profile iz ogljikovega jekla, ki se uporabljajo za neodvisne temelje in talne ojačitve, je treba obdelati proti koroziji, površina pa mora biti ravna in gladka; elastični tesnilni materiali, ki se uporabljajo za tesnjenje.
④. Materiali naj bodo označeni s sestavinami, sortami, datumom izdelave, rokom skladiščenja, navodili za način gradnje in certifikati o kvalifikaciji izdelka. Strojev in orodij, ki se uporabljajo v čistih prostorih, se ne sme premikati v nečiste prostore za uporabo. Strojev in orodij ne smete prenašati v čisti prostor za uporabo. Stroji in orodja, ki se uporabljajo v čistem območju, morajo zagotoviti, da izpostavljeni deli stroja ne proizvajajo prahu, ali sprejeti ukrepe za preprečevanje onesnaževanja okolja s prahom. Običajno uporabljene stroje in orodja je treba očistiti v zračni zapornici, preden jih premaknete na čisto območje. , morajo izpolnjevati zahteve, da so brez olja, umazanije, prahu in rje, premakniti pa jih je treba po opravljenem pregledu in pritrditvi znaka »Čisto« ali »Samo čisto območje«.
⑤. Opremo proizvodnega procesa v čisti sobi je treba namestiti na "specifična tla", kot so dvignjena tla. Osnova opreme naj bi bila praviloma postavljena na spodnjo tehnično medetažo ali na cementno porozno ploščo; aktivnosti, ki jih je treba razstaviti za postavitev temeljev Struktura tal po rezanju z ročno električno žago mora biti ojačana, njena nosilnost pa ne sme biti nižja od prvotne nosilnosti. Kadar se uporablja neodvisen temelj jeklene okvirne konstrukcije, mora biti izdelan iz pocinkanega materiala ali nerjavečega jekla, izpostavljena površina pa mora biti ravna in gladka.
⑥. Kadar postopek namestitve proizvodne procesne opreme v čistem prostoru zahteva odpiranje lukenj v stenskih ploščah, spuščenih stropih in dvignjenih tleh, postopki vrtanja ne smejo razdeliti ali onesnažiti površin stenskih plošč in plošč spuščenih stropov, ki jih je treba obdržati. Po odprtju dvignjenega poda, ko temeljev ni mogoče postaviti pravočasno, je treba namestiti varnostne ograje in znake za nevarnost; po namestitvi proizvodne opreme je treba vrzel okoli luknje zatesniti, oprema in tesnilne komponente pa morajo biti v prožnem stiku, povezava med tesnilno komponento in stensko ploščo pa mora biti tesna in trdna; tesnilna površina na eni strani delovnega prostora mora biti ravna in gladka.
Čas objave: 6. september 2023