Poleg strogega nadzora delcev imajo elektronske čiste sobe, ki jih predstavljajo delavnice za proizvodnjo čipov, delavnice za proizvodnjo integriranih vezij brez prahu in delavnice za proizvodnjo diskov, tudi strožje zahteve glede nadzora temperature in vlažnosti, osvetlitve in mikroudarcev. Strogo je treba odstraniti vpliv statične elektrike na proizvodne izdelke, da lahko okolje izpolnjuje zahteve proizvodnega procesa za elektronske izdelke v čistem okolju.
Temperaturo in vlažnost v čisti elektronski sobi je treba določiti v skladu z zahtevami proizvodnega procesa. Če ni posebnih zahtev za proizvodni proces, je lahko temperatura 20–26 °C, relativna vlažnost pa 30–70 %. Temperatura v čisti sobi za osebje in dnevni sobi je lahko 16–28 °C. V skladu s kitajskim nacionalnim standardom GB-50073, ki je v skladu z mednarodnimi standardi ISO, je stopnja čistoče te vrste čiste sobe 1–9. Med njimi so razredi 1–5, vzorec pretoka zraka je enosmerni ali mešani; razred 6 vzorec pretoka zraka je neenosmerni in se izmenjuje 50–60-krat na uro; razred 7 vrsta pretoka zraka je neenosmerni in se izmenjuje 15–25-krat na uro; razredi 8–9 vrsta pretoka zraka je neenosmerni in se izmenjuje 10–15-krat na uro.
V skladu s trenutnimi specifikacijami raven hrupa v elektronskih čistih sobah razreda 10.000 ne sme biti višja od 65 dB(A).
1. Polno razmerje navpičnega pretoka v elektronski čisti sobi ne sme biti manjše od 60 %, horizontalni enosmerni pretok pa ne sme biti manjši od 40 %, sicer bo šlo za delni enosmerni pretok.
2. Razlika statičnega tlaka med elektronsko čisto sobo in zunanjim prostorom ne sme biti manjša od 10 Pa, razlika statičnega tlaka med čistimi območji in nečistimi območji z različno čistočo zraka pa ne sme biti manjša od 5 Pa.
3. Količina svežega zraka v elektronski čisti sobi razreda 10000 mora imeti vrednost naslednjih dveh elementov.
4. Izravnajte vsoto količine izpušnega zraka v zaprtih prostorih in količine svežega zraka, potrebne za vzdrževanje vrednosti pozitivnega tlaka v zaprtih prostorih.
5. Zagotovite, da količina svežega zraka, dovajanega v čisti prostor na osebo na uro, ni manjša od 40 kvadratnih metrov.
Čas objave: 8. april 2024