Poleg strogega nadzora delcev ima elektronska čista soba, ki jo predstavljajo delavnice proizvodnje čipov, integrirane vezje brez prahu in delavnice proizvodnje diskov, tudi strožje zahteve po temperaturnem nadzoru in vlagi, osvetlitvi in mikro šoku. Strogo odstranite vpliv statične električne energije na proizvodne izdelke, tako da lahko okolje izpolnjuje zahteve proizvodnih procesov elektronskih izdelkov v čistem okolju.
Temperaturo in vlažnost elektronskega čistega prostora je treba določiti v skladu z zahtevami proizvodnje. Kadar ni posebnih zahtev za proizvodni postopek, je lahko temperatura 20-26 ° C, relativna vlažnost pa 30%-70%. Temperatura čiste sobe osebja in dnevne sobe je lahko 16-28 ℃. Glede na kitajski nacionalni standard GB-50073, ki je v skladu z mednarodnimi standardi ISO, je raven čistoče te vrste čiste sobe 1-9. Med njimi, razred 1-5, je vzorec pretoka zraka enosmerni tok ali mešan pretok; Vzorec pretoka zraka razreda 6 je nevsilenten pretok in menjava zraka je 50-60 krat/h; Vrsta zračnega pretoka razreda 7 je nevsilenten pretok, sprememba zraka pa 15-25 krat/h; Razred 8-9 Vrsta pretoka zraka je ne-enosmerni tok, sprememba zraka je 10-15 krat/h.
Glede na trenutne specifikacije raven hrupa znotraj 10.000 elektronskih čistih prostorov razreda ne bi smela biti večja od 65 dB (a).
1. Polno razmerje čistega prostora navpičnega toka v elektronski čisti sobi ne sme biti manjše od 60%, vodoravna enosmerna pretočna čistilna soba pa ne sme biti manjša od 40%, sicer pa bo delni enosmerni tok.
2. Statična razlika med elektronskim čistim prostorom in na prostem ne sme biti manjša od 10Pa, statična razlika med čistimi površinami in ne čistimi območji z različno čistostjo zraka pa ne bi smela biti manjša od 5Pa.
3. Količina svežega zraka v elektronski čisti sobi razreda 10000 bi morala vzeti vrednost naslednjih dveh elementov.
4. kompenzirajte vsoto notranjega izpušnega zraka in volumen svežega zraka, potrebnega za vzdrževanje vrednosti pozitivnega tlaka v zaprtih prostorih.
5. Prepričajte se, da količina svežega zraka, ki je dobavljena čisti sobi na osebo na uro, ni manjša od 40 kvadratnih metrov.
Čas objave: APR-08-2024