Poleg strogega nadzora delcev imajo elektronske čiste sobe, ki jih predstavljajo delavnice za proizvodnjo čipov, delavnice za integrirana vezja brez prahu in delavnice za proizvodnjo diskov, tudi strožje zahteve glede nadzora temperature in vlažnosti, osvetlitve in mikrošokov. Strogo odstranite vpliv statične elektrike na proizvodne izdelke, tako da lahko okolje izpolni zahteve proizvodnega procesa elektronskih izdelkov v čistem okolju.
Temperaturo in vlažnost elektronske čiste sobe je treba določiti glede na zahteve proizvodnega procesa. Kadar ni posebnih zahtev za proizvodni proces, je lahko temperatura 20-26 °C in relativna vlažnost 30%-70%. Temperatura čiste sobe in dnevne sobe za osebje je lahko 16-28 ℃. V skladu s kitajskim nacionalnim standardom GB-50073, ki je v skladu z mednarodnimi standardi ISO, je stopnja čistoče te vrste čistih prostorov 1-9. Med njimi je razred 1-5 vzorec zračnega toka enosmerni ali mešani tok; vzorec zračnega toka razreda 6 je neenosmeren tok in menjava zraka je 50-60-krat/h; tip zračnega toka razreda 7 je neenosmerni tok, menjava zraka pa je 15-25 krat/h; razred 8-9 tip pretoka zraka je neenosmerni tok, menjava zraka je 10-15-krat/h.
V skladu s trenutnimi specifikacijami raven hrupa v elektronski čisti sobi razreda 10.000 ne sme biti višja od 65 dB(A).
1. Celotno razmerje čiste sobe z navpičnim pretokom v elektronski čisti sobi ne sme biti manjše od 60 %, čista soba z vodoravnim enosmernim tokom pa ne sme biti manjša od 40 %, sicer bo to delni enosmerni tok.
2. Razlika statičnega tlaka med elektronskim čistim prostorom in zunanjim prostorom ne sme biti manjša od 10 Pa, razlika statičnega tlaka med čistimi območji in nečistimi območji z različno čistostjo zraka pa ne sme biti manjša od 5 Pa.
3. Količina svežega zraka v elektronski čisti sobi razreda 10000 mora imeti vrednost naslednjih dveh postavk.
4. Izravnajte vsoto prostornine izpušnega zraka v prostoru in količine svežega zraka, ki je potrebna za vzdrževanje vrednosti pozitivnega tlaka v prostoru.
5. Poskrbite, da količina svežega zraka, dovedenega v čisti prostor na osebo na uro, ni manjša od 40 kvadratnih metrov.
Čas objave: Apr-08-2024