1. Znotraj čistega prostora je treba urediti različne vrste prostorov za shranjevanje in distribucijo kemikalij glede na zahteve proizvodnega procesa ter fizikalne in kemijske lastnosti kemikalije. Za dovajanje potrebnih kemikalij proizvodni opremi je treba uporabiti cevovode. Prostori za shranjevanje in distribucijo kemikalij v čistem prostoru se običajno nahajajo v pomožnem proizvodnem prostoru, običajno v pritličju enonadstropne ali večnadstropne stavbe, blizu zunanje stene. Kemikalije je treba skladiščiti ločeno glede na njihove fizikalne in kemijske lastnosti. Nezdružljive kemikalije je treba namestiti v ločene prostore za shranjevanje in distribucijo kemikalij, ločene s trdnimi pregradami. Nevarne kemikalije je treba skladiščiti v ločenih skladiščnih ali distribucijskih prostorih z odpornostjo proti ognju najmanj 2,0 ure med sosednjimi prostori. Ti prostori se morajo nahajati v prostoru v prvem nadstropju proizvodne stavbe, blizu zunanje stene.
2. Čisti prostori v elektronski industriji imajo pogosto skladiščne in distribucijske prostore za kisline in alkalije ter za vnetljiva topila. Prostori za shranjevanje in distribucijo kislin običajno vsebujejo sisteme za shranjevanje in distribucijo žveplove kisline, fosforne kisline, fluorovodikove kisline in klorovodikove kisline. Prostori za shranjevanje in distribucijo alkalij običajno vsebujejo sisteme za shranjevanje in distribucijo natrijevega hidroksida, hidroksidne pogače, amonijevega hidroksida in tetrametilamonijevega hidroksida. Prostori za shranjevanje in distribucijo vnetljivih topil običajno vsebujejo sisteme za shranjevanje in distribucijo organskih topil, kot je izopropilni alkohol (IPA). Čisti prostori v obratih za izdelavo rezin integriranih vezij imajo tudi skladiščne in distribucijske prostore za polirno brozgo. Prostori za shranjevanje in distribucijo kemikalij se običajno nahajajo v pomožnih proizvodnih ali podpornih prostorih v bližini ali ob čistih proizvodnih prostorih, običajno v prvem nadstropju z neposrednim dostopom na prosto.
3. Prostori za skladiščenje in distribucijo kemikalij so opremljeni s sodi ali rezervoarji za shranjevanje različnih prostornin, odvisno od vrste, količine in značilnosti uporabe kemikalij, potrebnih za proizvodnjo izdelkov. V skladu s standardi in predpisi je treba kemikalije skladiščiti ločeno in razvrščati. Prostornina uporabljenih sodov ali rezervoarjev mora zadostovati za sedemdnevno porabo kemikalij. Zagotoviti je treba tudi dnevne sode ali rezervoarje s prostornino, ki zadostuje za kritje 24-urne porabe kemikalij, potrebnih za proizvodnjo izdelkov. Prostori za skladiščenje in distribucijo vnetljivih topil in oksidativnih kemikalij morajo biti ločeni od sosednjih prostorov s trdnimi ognjevarnimi stenami z oceno požarne odpornosti 3,0 ure. Če se nahajajo v prvem nadstropju večnadstropne stavbe, morajo biti od drugih prostorov ločeni z negorljivimi tlemi z oceno požarne odpornosti najmanj 1,5 ure. Centralizirana nadzorna soba za sistem kemijske varnosti in spremljanja znotraj čiste sobe mora biti nameščena v ločenem prostoru.
4. Višino prostorov za shranjevanje in distribucijo kemikalij znotraj čistega prostora je treba določiti glede na zahteve glede opreme in cevovodov ter na splošno ne sme biti manjša od 4,5 metra. Če se prostor za shranjevanje in distribucijo kemikalij nahaja znotraj pomožnega proizvodnega območja čistega prostora, mora biti višina skladna z višino stavbe.
Čas objave: 1. avg. 2025