Nadzor temperature in zraka v čisti sobi

Varstvo okolja je namenjeno vedno več pozornosti, zlasti z naraščanjem vremena meglice. Čist sobni inženiring je eden od ukrepov za varstvo okolja. Kako uporabiti inženiring čistega soba za dobro delo pri varstvu okolja? Pogovorimo se o nadzoru v čistem sobnem inženiringu.

Nadzor temperature in vlažnosti v čisti sobi

Temperatura in vlažnost čistih prostorov se določita predvsem na podlagi zahtev po postopku, vendar je treba pri izpolnjevanju zahtev po postopku upoštevati človeško udobje. Z izboljšanjem potreb po čistoči zraka obstajajo trend strožjih zahtev za temperaturo in vlažnost v postopku.

Kot splošno načelo zaradi vse večje natančnosti obdelave zahtevajo zahteve po območju nihanja temperature manjše in manjše. Na primer, v procesu litografije in izpostavljenosti obsežne integrirane proizvodnje vezja razlika v koeficientu toplotne ekspanzije med steklenimi in silikonskimi rezinami, ki se uporabljajo kot materiali za maske, postaja vse manj majhna.

Silicijeva rezina s premerom 100 μm povzroči linearno ekspanzijo 0,24 μm, ko se temperatura dvigne za 1 stopinjo. Zato je potrebna konstantna temperatura ± 0,1 ℃, vrednost vlažnosti pa je na splošno nizka, ker bo izdelek po znojenju onesnažen, zlasti v polprevodniških delavnicah, ki se bojijo natrija. Ta vrsta delavnice ne sme presegati 25 ℃.

Prekomerna vlažnost povzroča več težav. Ko relativna vlažnost presega 55%, se bo na steni cevi za hladilno vodo oblikovala kondenzacija. Če se pojavi v natančnih napravah ali vezjih, lahko povzroči različne nesreče. Ko je relativna vlaga 50%, je enostavno rjaveti. Poleg tega, ko je vlaga previsoka, bo prah, ki se prilepi na površino silicijeve rezine, kemično adsorbiran na površini skozi molekule vode v zraku, kar je težko odstraniti.

Višja kot je relativna vlaga, težje je odstraniti oprijem. Ko pa je relativna vlaga pod 30%, se delci tudi zlahka adsorbirajo na površini zaradi delovanja elektrostatične sile in veliko število polprevodniških naprav je nagnjeno k razpadu. Optimalno temperaturno območje za proizvodnjo silicijevih rezin je 35-45%.

Zračni tlaknadzorv čisti sobi 

Za večino čistih prostorov je za preprečevanje vdora zunanjega onesnaževanja treba ohraniti notranji tlak (statični tlak) višji od zunanjega tlaka (statični tlak). Vzdrževanje razlike v tlaku mora na splošno upoštevati naslednja načela:

1. Tlak v čistih prostorih mora biti višji kot v ne čistih prostorih.

2. Tlak v prostorih z visoko raven čistoče mora biti višji kot v sosednjih prostorih z nizko raven čistoče.

3. Vrata med čistimi prostori je treba odpreti proti prostorom z visoko stopnjo čistoče.

Vzdrževanje razlike v tlaku je odvisno od količine svežega zraka, ki bi morala biti sposobna nadomestiti uhajanje zraka iz vrzeli pod to razliko v tlaku. Torej je fizični pomen razlike v tlaku odpornost puščanja (ali infiltracije) pretoka zraka skozi različne vrzeli v čisti sobi.