Donos čipa v industriji proizvodnje čipov je tesno povezan z velikostjo in številom zračnih delcev, odloženih na čipu. Dobra organizacija za pretok zraka lahko odvzame delce, ustvarjene iz virov prahu stran od čiste sobe, in zagotovi čistost čistega prostora. To pomeni, da ima organizacija zračnega pretoka v čistilnici ključno vlogo pri donosu proizvodnje čipov. Cilji, ki jih je treba doseči pri oblikovanju organizacije čistega pretoka zraka, so: zmanjšati ali odpraviti vrtine tokove v pretočnem polju, da se izognete zadrževanju škodljivih delcev; ohraniti ustrezen gradient pozitivnega tlaka, da se prepreči navzkrižno kontaminacijo.
Po načelu čiste sobe sile, ki delujejo na delce, vključujejo masno silo, molekularno silo, privlačnost med delci, silo pretoka zraka itd.
Sila zračnega toka: nanaša se na silo pretoka zraka, ki ga povzroča pretok in povratni pretok, toplotni konvekcijski pretok, umetna vznemirjenost in drugi pretoki zraka z določenim pretokom za prenos delcev. Za nadzor čiste okoljske tehnologije je najpomembnejši dejavnik sila pretoka zraka.
Eksperimenti so pokazali, da pri gibanju zraka delci sledijo pretoku zraka s skoraj popolnoma enako hitrostjo. Pogoj delcev v zraku je določeno s porazdelitvijo pretoka zraka. Glavni učinki pretoka zraka na notranje delce vključujejo: zračni pretok zraka (vključno s primarnim zračnim tokom in sekundarnim pretokom zraka), pretok zraka in termični konvekcijski pretok, ki ga povzročajo ljudje, ki hodijo, ter vpliv pretoka zraka na delce, ki jih povzročajo procesne operacije in industrijska oprema. Različni načini oskrbe z zrakom, hitrostni vmesniki, operaterji in industrijska oprema, inducirani pojavi itd. V čistih prostorih so vsi dejavniki, ki vplivajo na raven čistoče.
1. Vpliv metode oskrbe z zrakom
(1) Hitrost oskrbe z zrakom
Da bi zagotovili enakomerni pretok zraka, mora biti hitrost oskrbe z zrakom v enosmernem pretoku čista soba enakomerna; Mrtva cona na površini zraka mora biti majhna; in padec tlaka znotraj HEPA filtra mora biti tudi enakomeren.
Hitrost oskrbe z zrakom je enakomerna: to pomeni, da je neenakomernost pretoka zraka nadzorovana znotraj ± 20%.
Na površini dovoda zraka je manj mrtvega prostora: ne le, da bi se za poenostavitev odvečnega okvira uporabili modularni FFU, še pomembneje, še pomembneje pa je, da je za poenostavitev odvečnega okvira.
Da bi zagotovili, da je pretok zraka navpičen in enosmerni, je izbor tlaka filtra tudi zelo pomemben in zahtevano je, da izgube tlaka znotraj filtra ni mogoče pristransko.
(2) Primerjava med sistemom FFU in sistemom ventilatorja Axial Flow
FFU je zračna enota z ventilatorjem in HEPA filtrom. Zrak sesa centrifugalni ventilator FFU in dinamični tlak pretvori v statični tlak v zračnem kanalu. Enakomerno ga izpiše HEPA filter. Tlak dovoda zraka na stropu je negativen tlak. Tako noben prah pri zamenjavi filtra ne bo iztekal prahu. Eksperimenti so pokazali, da je sistem FFU boljši od sistema ventilatorjev osnega toka glede na enakomernost zračnega iztoka, paralelizem pretoka zraka in indeks učinkovitosti prezračevanja. To je zato, ker je paralelizem zračnega pretoka sistema FFU boljši. Uporaba sistema FFU lahko izboljša organizacijo pretoka zraka v čisti sobi.
(3) Vpliv lastne strukture FFU
FFU je sestavljen predvsem iz ventilatorjev, filtrov, vodnikov za pretok zraka in drugih komponent. Filter HEPA je najpomembnejša garancija za čisto sobo za dosego potrebne čistoče, ki jo zahteva oblikovanje. Material filtra bo vplival tudi na enakomernost pretočnega polja. Ko v odtok filtra dodamo grobi filtrirni material ali pretočna plošča, je polje iztoka lahko enostavno narediti enakomerno.
2. Vpliv vmesnika za hitrost z različno čistočo
V isti čisti sobi, med delovnim prostorom in neobdelanim območjem z navpičnim enosmernim tokom, zaradi razlike v hitrosti zraka v polju HEPA se bo na vmesniku pojavil mešani vrtinčni učinek in ta vmesnik bo postal burni Zračni pretok. Intenzivnost zračne turbulence je še posebej močna, delci pa se lahko prenašajo na površino opreme in kontaminirajo opremo in rezine.
3. Vpliv na osebje in opremo
Ko je čista soba prazna, značilnosti pretoka zraka v sobi na splošno ustrezajo oblikovalskim zahtevam. Ko oprema vstopi v čisto sobo, se ljudje premikajo in izdelki prevažajo, neizogibno obstajajo ovire za organizacijo zračnega pretoka, na primer ostre točke, ki štrlijo iz opreme. Na vogalih ali robovih se bo plin preusmeril tako, da tvori turbulentno območje pretoka, tekočine na območju pa ne bo zlahka odnesel prihajajočega plina, kar bo povzročilo onesnaževanje.
Hkrati se bo površina mehanske opreme segrevala zaradi neprekinjenega delovanja, temperaturni gradient pa bo povzročil območje reflowa v bližini stroja, ki poveča kopičenje delcev v območju reflowa. Hkrati bo visoka temperatura zlahka povzročila, da bodo delci pobegnili. Dvojni učinek okrepi celotno navpično plast. Težava nadzora nad čistočo toka. Prah operaterjev v čisti sobi se zlahka drži rezin na teh območjih reflow.
4. Vpliv povratnega zračnega dna
Ko je odpornost povratnega zraka, ki poteka skozi tla, različna, bo prišlo do razlike v tlaku, ki povzroči, da zrak teče v smeri majhne odpornosti in enakomerni pretok zraka ne bo dosežen. Trenutna priljubljena metoda oblikovanja je uporaba dvignjenega tla. Ko je odpiranje dvignjenega tal 10%, lahko hitrost pretoka zraka enakomerno porazdelite na notranji delovni višini. Poleg tega je treba strogo pozornost nameniti čiščenju, da se zmanjša vir onesnaženja na tleh.
5. Indukcijski pojav
Tako imenovani indukcijski pojav se nanaša na pojav proizvodnje pretoka zraka v nasprotni smeri do enakomernega pretoka, ki sproži prah, ki nastane v prostoru ali prahu v sosednjih onesnaženih območjih na navzgor, kar povzroči, da prah onesnaži rezino. Možni inducirani pojavi vključujejo naslednje:
(1) slepa plošča
V čisti sobi z navpičnim enosmernim tokom, zaradi spojev na steni, so na splošno velike slepe plošče, ki bodo proizvedle burni pretok in lokalni povratni tok.
(2) Svetilke
Osvetlitvene napeljave v čisti sobi bodo imele večji vpliv. Ker toplota fluorescentne svetilke povzroči dvig pretoka zraka, fluorescentna svetilka ne bo postala burno območje. Na splošno so svetilke v čisti sobi zasnovane v obliki solze, da zmanjšajo vpliv svetilk na organizacijo pretoka zraka.
(3) vrzeli med stenami
Kadar obstajajo vrzeli med stenami ali stropi z različnimi potrebami po čistosti, se lahko prah z območij z nizkimi potrebami po čistosti prenese na sosednja območja z visokimi potrebami po čistosti.
(4) Razdalja med mehansko opremo in tlemi ali steno
Če je vrzel med mehansko opremo in tlemi ali steno majhna, bo prišlo do povratnih turbulenc. Zato pustite vrzel med opremo in steno in dvignite platformo stroja, da se izognete neposrednemu stiku s tlemi.
Čas objave: november-02-2023